洁净车间装修工程对生产车间的影响

      洁净车间装修工程对生产车间的影响,近年来许多测试和实践表明,带入洁净车间或无尘车间产生的污染物还有室外空气中的N0x、S0x、NaCl-;超细玻璃纤维制品中的硼和DOP粒子;操作人员自身产生的NH、Na*等;洁净车间构成材料散发的各种有机物、金属离子;生产过程使用溶剂、洗涤液散发的各种化学污染物等。


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      因此,化学分子态污染物(Airboml Molecular Contaminants.简 称AMC)的防治已提到日程,可以预见,随着超大规模集成电路技术的不断发展,去除分子态污染物、化学污染物的空气净化装置,技术措施以及相应的检测手段将会广泛应用和不断完善。


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      电子产品与洁净车间技术在电子产品生产过程中要求具有洁净生产环境者甚多,

      如:电真空器件——彩色显像管、显示器件,电子材料生产,光纤及光通信产品,精密电子仪器、电子计算机装配,光盘、磁记录设备以及半导体器件和集成电路等。

      尤其是集成电路生产的高速发展,它的特性尺寸的日渐微细化、集成度越来越大,当前0.09am的超大规模集成电路已投入生产,要求控制洁净室的空气洁净度为IS01级、控制微粒粒径0.03am;因此近年来 随着超大规模集成电路发展的需要,洁净技术发展也日新月异,可以说电子产品的不断升级带来了洁净技术的不断发展,从空气洁净度等级的3个等级、控制粒径0.5am发展到现在的国际标准ISO 14644-1中的空气洁净度基本等级9级、控制粒径分为0.1|±m、0.2|JLm、0.3|JLrn、0.5|xm 等多种粒径要求。


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      电子产品生产对生产环境的控制要求,不仅对洁净房间的空气洁净程度有严格要求,而且还对与电子产品生产过程直接接触的各种高纯介质——高纯水、高纯气体、高纯化学品等的纯度杂质含量等要 求控制得十分严格;某些电子产品对振动、静电、电磁干扰、电力供应也有较为严格要求等。